溫度是薄膜生長的關(guān)鍵參數(shù)之一，獲得薄膜生長的準(zhǔn)確溫度對(duì)于控制薄膜生長、分析薄膜生長過程、提高薄膜生長的可重復(fù)性等至關(guān)重要。恰當(dāng)?shù)臏y溫方法對(duì)實(shí)驗(yàn)可能起到事半功倍的作用。測量樣品溫度的方法很多，根據(jù)測量方式不同，可將其分為接觸式和非接觸式兩種。接觸式溫度測量即通過溫度計(jì)或熱電偶等溫度測量儀來獲得樣品溫度，非接觸式激光測量即在不接觸樣品表面的情況下獲得樣品表面溫度。